低溫的氣體分子碰撞高溫固體時,會從固體奪取熱量。通過被氣體分子奪取的熱量來計算壓力的真空計被成為熱傳導真空計。熱傳導真空計主要應用于中低真空領域。
利用力學性能的真空計典型的有波爾登規(guī)（Bourdon）和薄膜電容規(guī)；利用氣體動力學效應的典型真空計有皮拉尼（Pirani）電阻規(guī)和熱電偶規(guī)；
利用帶電粒子效應的典型真空計有熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī)一般是利用不同氣壓下氣體的某種物理效應的變化進行氣壓的測量。在科研和工業(yè)生產中廣泛使用。